含硅的合金（7%）很难在硫酸体系中进行硬质氧化， 二氧化硅合金中的硅含量高达10% - 13%，高硅的存在，多晶硅容易产生偏析，导致膜生成困难，硬质氧化薄膜的均匀性也不好。
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